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公司回答表示★ღ✿，您好★ღ✿！现阶段★ღ✿，上海精测的主要产品有膜厚量测系统★ღ✿、光学关键尺寸量测系统★ღ✿、电子束缺陷检测系统★ღ✿、明场晶圆有图形缺陷检测设备★ღ✿、大硅片应力形貌量测设备等★ღ✿，其中电子束产品主要属于电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）★ღ✿。感谢您对公司的关注★ღ✿，谢谢★ღ✿！
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